- synchrotron(-radiation)lithography
- рентгенівська літографія з використанням синхротронного випромінювання
English-Ukrainian dictionary of microelectronics. 2013.
synchrotron(-radiation)lithography
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National Synchrotron Radiation Research Center — The National Synchrotron Radiation Research Center (NSRRC) is a 1.5 GeV third generation synchrotron, in the Hsinchu Science Park about 70 km from Taipei in Taiwan. There are twenty six operational beamlines [1] and four under… … Wikipedia
X-ray lithography — is a next generation lithography that has been developed for the semiconductor industryref|vlad. Batches of microprocessors have already been produced. The short wavelengths of 0.8 nm X rays overcome diffraction limits in the resolution of… … Wikipedia
Interference lithography — (or holographic lithography) is a technique for patterning regular arrays of fine features, without the use of complex optical systems or photomasks. Basic principleThe basic principle is the same as in interferometry or holography. An… … Wikipedia
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